1 简介

真空泵(beng)(beng)(beng)是一种旋转(zhuan)式变容真空泵(beng)(beng)(beng)须有前级泵(beng)(beng)(beng)配合方可使用(yong)在(zai)较宽的压力范围内有较大(da)的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广(guang)泛用(yong)于(yu)冶金、化工(gong)、食品、电子镀膜等行业。[1]

2 特点

(1)在较(jiao)宽(kuan)的压力范围内有较(jiao)大的抽速；

(2)转(zhuan)子(zi)具有良好的几何对称性，故振动(dong)小，运(yun)转(zhuan)平稳。转(zhuan)子(zi)间(jian)及转(zhuan)子(zi)和(he)壳体间(jian)均有间(jian)隙，不(bu)用润滑，摩擦(ca)损失小，可(ke)大(da)大(da)降低驱动(dong)功率(lv)，从而(er)可(ke)实现较高转(zhuan)速；

(3)泵(beng)腔内无(wu)需用油密封和(he)润滑，可减少油蒸气对真空(kong)系统的(de)污染；

(4)泵腔(qiang)内无压缩，无排气阀。结构简单、紧(jin)凑(cou)，对(dui)被(bei)抽(chou)气体中的灰尘(chen)和水蒸汽不敏感；

(5)压缩比较低，对(dui)氢气抽气效果差；

(6)转子(zi)表面为(wei)(wei)形状较为(wei)(wei)复杂的曲线(xian)柱(zhu)面，加工和检(jian)查比较困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结(jie)构型式(shi)

真空泵的泵体的布置(zhi)结(jie)构决定(ding)了泵的总体结(jie)构。

立式结(jie)构(gou)的进、排气(qi)口水平设置(zhi)，装配和连接管路都比较(jiao)方便(bian)。但泵(beng)的重心(xin)较(jiao)高(gao)，在高(gao)速(su)运转(zhuan)时稳(wen)定性差，故这种型式多用(yong)于(yu)小泵(beng)。

卧式泵(beng)(beng)的进(jin)气口(kou)在(zai)上(shang)，排(pai)气口(kou)在(zai)下。有时(shi)为了真空系统(tong)管道安(an)装连接方(fang)便，可(ke)将(jiang)排(pai)气口(kou)从水平方(fang)向接出，即进(jin)、排(pai)气方(fang)向是相(xiang)互垂(chui)直的。此时(shi)，排(pai)气口(kou)可(ke)以从左或右两个方(fang)向开口(kou)，除(chu)接排(pai)气管道一(yi)端(duan)外，另一(yi)端(duan)堵死(si)或接旁通阀。这种泵(beng)(beng)结(jie)构(gou)重心低(di)，高(gao)速运转时(shi)稳定性好。一(yi)般(ban)大、中型泵(beng)(beng)多采用此种结(jie)构(gou)。

泵的两个转(zhuan)子轴与水平面垂直安装(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)配(pei)间隙容易控制，转(zhuan)子装(zhuang)配(pei)方便，泵占(zhan)地(di)面积小。但(dan)泵重心较高且齿轮(lun)拆装(zhuang)不(bu)便，润滑机(ji)构(gou)也相(xiang)对复(fu)杂。

（2） 泵(beng)的传(chuan)动方式

真空泵(beng)的(de)两个(ge)(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)是(shi)通过(guo)一(yi)对高精度齿(chi)轮(lun)(lun)(lun)来实现(xian)其相对同步(bu)运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)。主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)通过(guo)联轴(zhou)器与(yu)电机(ji)联接。在(zai)传(chuan)动(dong)(dong)(dong)结构(gou)布置(zhi)上主(zhu)(zhu)要(yao)有以下两种：其一(yi)是(shi)电动(dong)(dong)(dong)机(ji)与(yu)齿(chi)轮(lun)(lun)(lun)放(fang)在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)的(de)同一(yi)侧如图。从动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)由电动(dong)(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)轮(lun)(lun)(lun)直接传(chuan)过(guo)去带(dai)动(dong)(dong)(dong)，这(zhei)样主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)轴(zhou)的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形小，则两个(ge)(ge)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)隙不(bu)会因(yin)主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)的(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)形大(da)而改变(bian)，故使(shi)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)之(zhi)间(jian)(jian)的(de)间(jian)(jian)隙在(zai)运(yun)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程(cheng)中均(jun)匀(yun)。这(zhei)种传(chuan)动(dong)(dong)(dong)方式的(de)最大(da)缺点是(shi)：a.主(zhu)(zhu)动(dong)(dong)(dong)轴(zhou)上有三个(ge)(ge)轴(zhou)承，增加了泵(beng)的(de)加工(gong)和装配难度，齿(chi)轮(lun)(lun)(lun)的(de)拆装及调整也不(bu)便；b.整体结构(gou)不(bu)匀(yun)称，泵(beng)的(de)重心偏向(xiang)电动(dong)(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)轮(lun)(lun)(lun)箱一(yi)侧。

    极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)重要参数(shu)，是(shi)(shi)反应泵(beng)抽气(qi)能力的(de)(de)特性(xing)值(zhi)(zhi)，是(shi)(shi)与真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)相(xiang)关的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)数(shu)值(zhi)(zhi)，不同的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)可(ke)以有不同的(de)(de)“极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”度(du)。而“理(li)(li)论真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)”是(shi)(shi)理(li)(li)论研究时的(de)(de)一(yi)(yi)个(ge)概念，是(shi)(shi)排除各种实际因素(su)的(de)(de)影响而提(ti)炼出的(de)(de)一(yi)(yi)种最理(li)(li)想的(de)(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器经(jing)充分抽气(qi)后，稳定在某一(yi)(yi)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)，此(ci)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)称为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。通(tong)常(chang)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)容器须经(jing)12小时炼气(qi)，再经(jing)12小时抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，最后一(yi)(yi)个(ge)小时每隔10分钟(zhong)测量一(yi)(yi)次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)平均值(zhi)(zhi)为极(ji)限(xian)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)值(zhi)(zhi)。